本書では、エピタクシーの最近までの発展経過を簡単に述べ、表面構造や表面の相転移について説明したのち、エピタクシー過程の代表的な研究方法と、それから得られる情報について解説する。つぎに、次世代のエレクトロニクスを担う代表的な材料である半導体、金属、酸化物超伝導体、ダイヤモンド等をとり上げ、そのエピタクシャル成長や薄膜の制御方法、薄膜の物性について、最近の発展を中心に説明する。