装置開発の失敗事例を、理解しやすいように単純化し、解決に用いられた技術と原因と対策をまとめた1冊。 回転軸受けの軸方向ガタの除去 小型モーター軸受けの過大荷重による破損 遠心力によるベアリングの破損 ヒートサイクルが加わる部品の固定ネジの緩み 歯車固定ネジの緩み 摩擦力固定による歯車と回転軸の緩み 真空用ICFフランジの取り付け誤差による、ベアリングの破損 除振台上の静圧回転空気軸受け駆動軸のベアリングの破損 高精度スピンドルのベアリングの腐食による回転精度低下 真空用ベアリングの選定方法 プーリ巻きつけワイヤーの破損 真空移動台の駆動力伝達柔軟継ぎ手 回転移動台駆動用ワイヤー継ぎ手の剛性不足 真空中で使用するユニバーサルジョイントの動作不良 マイクロメーターヘッドの衝撃による位置決め不良 圧電素子を駆動源に用いた3軸微移動ステージの移動軸の干渉 真空内移動ステージの真空外駆動2軸の干渉による移動不良 駆動ネジのスラスト支持不備による送り方向誤差の発生 リンク型搬送機構の蛇行移動 2箇所インロー部同時はめ合い構造による組み立て不良 真空内機構のネジ落下 高温用リミットスイッチのドッグ形状不備による異常動作 真空用ベローズを駆動するボールネジのブレーキ操作 コレットチャックを用いた石英軸の固定による破損 石英チャンバー固定フランジ部の破損 エアシリンダー同期不良による上下移動機構の異常動作 エアシリンダーによる荷重の制御不良 サンフロン軸シール構造の回転駆動力の不足 モーメント荷重が作用したボールブッシュ案内の動作不良 冷却水の供給系の構造とPTネジ（管用テーパネジ）加工トラブル 冷却水配管継ぎ手部の水漏れ すべり軸受けの温度変形による移動不良ほか 旋削加工後のフライス加工などによる被加工部品の変形 小径長孔の旋削ドリル加工による曲がり ドレスツールの移動精度向上による研磨パッドのドレッシング プログラムドレス加工による研磨パッドの平坦性向上 メタアクリル材のフライス加工による破損 板材の真空ブレージングによる変形 角型フランジの真空ブレージング不良 真空ブレージングの汚れによる接合不良 真空ブレージングによる薄肉パイプの同芯度不良接合 溶接による真空フランジの変形 溶接による真空容器の精度と加工法 溶接用真空容器材料として使用が不適なSS材 パイプ内面を電解研磨するVCR継ぎ手の溶接法 モリブデン材のピンのレーザービーム溶接による割れ メッシュ電極のシーム溶接 ステンレス鍛造材と引き抜き材の材料不良による漏れ 金線による真空シール不良 真空シールOリング溝のカッターマークによる漏れ防止 樹脂パイプカッターによる流路の異物混入 冷却配管のベーキングによる微少漏れ ベーキング用シースヒータの漏電 電解研磨面のクリーン性能不足 アルミ材を用いた真空チャンバーの防食処理による傷発生