真空装置の最新技術と関連データを網羅したハンドブック、待望の3訂版登場！ 「真空ハンドブック」は、1992年11月に初版が、2002年に新装版が発行され、真空装置の最新技術と関連データを掲載した数少ない書籍として、長らく読者諸氏より好評を博してきました。 このたびの3訂版では、初版発行から現在までの技術的進展や、経済・産業上の環境変化を鑑み、内容や収録データの見直し・更新を行い、より現状の実務に即した書籍として発刊するものです。 第1章　真空の基礎 第2章　真空用部品 第3章　真空用構成材料 第4章　熱 第5章　低　温 第6章　プラズマ・イオンビーム 第7章　表面分析 第8章　薄膜・表面加工 第9章　化学・薬品・食品工業の真空の応用