表面分析は化学・物理などの基礎研究のみならず，産業界でも研究開発・品質管理などに利用されている。本書では約120の表面分析手法を取り上げ，見開き形式で解説。原理だけでなく実際の適用例を複数紹介し，また各項目の冒頭にはその手法の特徴や主な適用先などをまとめ，一目で概要がわかるよう工夫。試料の種類や性質，目的により適切な手法を選択するためのリファレンス。〔内容〕電子線分析／イオンビーム分析／エリプソメトリ／AFM／磁気計測／データ解析／他