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半導体デバイス第2版
仕事で半導体の前工程の知識が必要となり、この年で(還暦前です。)、勉強用に購入しました。 何回も読み返し、わからないところは会社にいる有識者に聞いたり、ネットで調べたりと悪戦苦闘しながら勉強しています。特にエネルギーバンドの所が自分には難しく、学生の時にもっと勉強していれば、と思ってやっています。ただ、普通の専門書では日本語訳がイマイチだったりしますが、この本は、専門書でありながらとても分かりやすい日本語なので、助かっています。
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半導体デバイス第2版
6
4.83
本書は、最近の半導体デバイス物理と作製技術のほとんどを網羅した入門書である。デバイス形成の各段階において、評価と作製技術の理論と実際が集積回路に重点をおきつつ述べられている。
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