半導体デバイスに関して、歴史、理論、作製技術など幅広く解説している。幅広く扱っているが、内容が薄い訳ではない。名著である。

本書は、最近の半導体デバイス物理と作製技術のほとんどを網羅した入門書である。デバイス形成の各段階において、評価と作製技術の理論と実際が集積回路に重点をおきつつ述べられている。