とても満足です。ありがとうございました！！ 半導体に関する本になかなか辿り着けなかったので助かりました！ありがとうございます。

半導体の製造に不可欠な半導体製造装置の詳細を初心者に分かるように解説した半導体製造装置の入門書です。2019年現在の最新情報を踏まえて改定した最新版解説書です。