半導体関係の会社でドライエッチングに関する仕事をしていますが、プラズマに関して聞かれると･･･自信がなかったんです･･･。 特に高周波プラズマに関しては分かりやすく説明されておりお勧めです。

本書は、プラズマプロセス技術に対するニーズの高まりを背景に、時代に即応した新しい目でプラズマの教科書を見なおし、基礎的な考え方を把握してもらうことを念頭に書いたものである。プラズマをミクロな視点とマクロな視点に立ってわかりやすく説明し、最近のプラズマプロセスで用いられる新しいプラズマのつくり方を説明した。