慣れてないからチト取っ付き難いらしいが、本当に基本的な本よりは読み応えがあってイイとのコト。

本書は、プラズマプロセス技術に対するニーズの高まりを背景に、時代に即応した新しい目でプラズマの教科書を見なおし、基礎的な考え方を把握してもらうことを念頭に書いたものである。プラズマをミクロな視点とマクロな視点に立ってわかりやすく説明し、最近のプラズマプロセスで用いられる新しいプラズマのつくり方を説明した。